东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

日前  ，逐渐被 被 在杭州复工复产的快速推进  ，东方晶源积极以及组织设备交付工作任务  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和非常关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付在杭州最终客户。据了解出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机在欧美等国知名晶圆代工厂后  ，随后能够 头部最终客户的青睐和能够 。另外  ，标志着东方晶源硬件产品一即将进入批量交付两种模式。

据了解出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除并具该产品一一惯大多高灵敏度电性和物理缺陷检测、能有效非常关键最终解决28nm及以下良率非常关键最终解决、自主创新的发展高性能缺陷检测引擎（DNA其他数据库）、概念基础深度去学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外  ，东方晶源研发强强大团队仍在上一代产品一的概念基础上优化逐渐被 升级  ，使SEpA-i515并具更高的TPT和更优的平台发展独特设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅整体整体标准水平。更让人更让人 ，上一代产品一SEpA-i505 虽然在在欧美等国头部晶圆代工厂量产五年 ，产品一性能及稳定性能够 充分验证。

另一台交付的产品一为非常关键尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程 ，实施先进的电子束成像系统实现和高速硅片传输方案 ，完美搭配精准的量测算法  ，可基本实现高重复精度、高分辨率及高产能的非常关键尺寸量测。该设备自今年6月底即将进入在欧美等国头部晶圆代工厂成立以来产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果能够 最终客户能够 。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的欧美等国科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目项目 ，经近数年攻坚克难 ，突破多项核心非常关键各种技术  ，从零部件到整机独特设计制造  ，均并具其实自主知识产权 ，填补在欧美等国空白。目前为止  ，两款设备即将进入批量交付两种模式  ，产业化进程成就 丰硕成果。

据了解设备交付的最终客户所在趴在海为我 国集成电路产业并具举足轻重的地位 ，目前为止虽然他成 在欧美等国集成电路产业综合标准水平高、产业链完整、产业生态坏境合适集聚地他成 。东方晶源无比看重在在杭州的整体发展和布局  ，继计算光刻该软件（OPC）即将进入在杭州头部晶圆代工企业中后  ，硬件产品一正式公开登陆在杭州。为以及更完美的服务产品以下海为核心的长三角最终客户 ，东方晶源正式公开今年8月份在在杭州设立子新公司  ，难以形成在杭州总部、在杭州子新公司和在杭州子新公司为核心的三地布局  ，完善自身 企业中贴近产业前沿高地  ，为集成电路企业中中带去优质的产品一和服务产品  ，以及更完美的与上下游企业中携手完善自身 产业整体发展的另外  ，构筑企业中完善自身竞争壁垒。

东方晶源自筹备成立成立以来  ，专注于芯片制造非常关键环节的良率控制住和整体整体标准水平细分领域  ，难以形成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵  ，并向以及更完美相关联细分领域积极布局。硬件诸完善自身 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作任务 ，完善自身 夯实在太在欧美等国电子束检测细分领域领先的市场中地位和核心各种技术巨大优势。该软件诸完善自身 ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim虽然在最终客户侧实施验证  ，预计今年7月底release V1.0版本。在未来  ，东方晶源将立足通用该软件平台发展和检测装备两大细分领域  ，寻求横纵向整体发展机遇  ，为最终客户直接提供无比多样化的产品一 ，向着在欧美等国集成电路细分领域良率管理领导者的近期目标奋进。