东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由国家集成电路创新第一中锋主办的”2022集成电路产业链协同创新整体发展交流会”以六大会场加配图连线的以此同步召开。美女球迷集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位作为参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老 受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，交出 核心技术创新奖。

　　“IC创新奖”由国家集成电路创新第一中锋主办  ，面向当前我国国内集成电路产业链上下游企事业本单位征集 ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游成功合作  ，是集成电路产业关键在于在于的核心技术奖项沦为  ，中有核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和关键在于核心技术开发能力方面佳绩重大突破的本单位和强强大团队。据悉摘得整体行业重磅赛事的关键在于奖项  ，再度保持彰显出东方晶源在电子束检测、量测其它领域的核心技术超强实力和整体行业的高度基本要求认可。

　　检测是芯片制造厂商整体质的提升 良率的关键在于手段。电子束检测设备极具 超高精度 ，在高端芯片制造时间过程发挥的功效愈发大。现在  ，该类设备被当前我国国内厂商垄断  ，沦为制约当前我国芯片制造自主可控的关键在于瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，成功完成研发出警示 当前我国国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供更多完整的纳米级缺陷检测和深入分析 完美解决方案。现在 已使用当前我国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证于是表明再就 指标与当前我国国内一线对标机台不可以达到 同等技术水平 ，成功完成完美解决当前我国在电子束检测其它领域的关键在于核心技术完美解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测其它领域已深耕多年并成功完成全全新推出 多款设备 ，佳绩重大突破。除据悉获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸关键在于尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于前年前年前年6月提前进入产线验证 ，现在 提前完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异交出 潜在需求基本要求  ，性能再度保持改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于前年前年前年3月提前进入产线验证  ，现在 早已提前进入客户购买产线小规模试产。中有  ，东方晶源还于最最近几天几天最近发布 了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，现在 该设备工程机（Alpha机）早已使用首轮wafer demo  ，也可以以交出 潜在需求28nm及不不可以达到 有制程交出 潜在需求  ，Beta机集成部门工作加速推进中  ，已佳绩客户购买订单  ，提前进入产线验证指日可待。

　　沦为又一家聚焦集成电路良率管理其它领域  ，以整体质的提升 芯片制造门槛为使命的半导体企业自身 ，东方晶源还是以研发创新为整体发展核心  ，断地丰富其他产品矩阵并整体质的提升 其他产品性能  ，填补多项当前我国国内空白。将来  ，东方晶源将再度保持立足一体化各类软件其他平台和检测装备两大其它领域  ，以客户购买为中心一  ，以当前市场为导向 ，断地使用核心技术突破与其他产品创新  ，与当前我国集成电路产业上下游企业自身勠力同心  ，推动当前我国集成电路制造产业再度保持高速整体发展。